技術紹介
Technology

オーデント(O-DENT)

処理種

  • オリジナル

用途

  • 装置部品

機能

  • 帯電防止
FPD製造装置のステージからガラス基板を吸着する際に発生する静電気を軽減し、ガラス基板がステージに張り付くのを防ぐ。
アルミ製のステージを特殊なエッチング処理により微細で緻密な尖形突起を形成することで、ガラス基板との接触面積を減少させ、ガラス基板に発生する静電気を軽減する。
無電解Niめっきを組み合わせることで耐摩耗性が向上し、長期間性能が持続する。

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