無電解Ni/Auめっき

Siウエハ上にNi/Auめっきを施します。
Siウエハから切り出されるSiチップはEVなどのコントロールユニットのデバイスとして、使用されます。
デバイスの接合性と長期信頼性のためにめっきによる成膜を行っています。